Inspección de semiconductores

Una de las aportaciones más importantes de la visión artificial a la fabricación de circuitos integrados (IC) y paneles solares asequibles es el uso de cámaras InGaAs para inspeccionar dispositivos de silicio al poder ""ver"" a través del material. El silicio absorbe las longitudes de onda visibles e infrarrojas, por lo que es ideal para la mayoría de los detectores de imágenes. Sin embargo, el silicio no se puede usar para la detección de infrarrojos porque pierde sensibilidad al superar 900 nm y es transparente a longitudes de onda superiores a 1120 nm. Esta transparencia de las imágenes SWIR permite aplicaciones como el análisis de fallos por fotoemisión de los circuitos integrados, y la obtención de imágenes de las capas de los circuitos integrados y los sistemas microelectromecánicos para detectar errores de alineación, además de la inspección de las celdas solares para detectar grietas y defectos. Las cámaras InGaAs pueden incluso obtener imágenes de un lingote sólido de 4x4x10 pulgadas. Esto permite rechazar los lingotes de silicio con huecos o depósitos de carbono ANTES de perder tiempo y materiales cortando el lingote o la barra en obleas. (Tenga en cuenta que es necesario pulir una cara de la oblea o lingote para evitar la dispersión de la imagen y utilizar un filtro de paso largo para evitar los reflejos visibles).
La selección de la mejor cámara para una aplicación de inspección de semiconductores de silicio depende del proceso de producción en cuestión y de las presentaciones disponibles para el objeto que se va a analizar. Para la inspección de líneas de producción continuas o la exploración de objetos de mayor tamaño, la LineCam12 de Princeton Infrared Technologies (PIRT) ofrece una resolución HD, un amplio rango dinámico y un gran campo de visión (FOV). También ofrece una amplia gama de sensibilidades y velocidades de línea para adaptarse al movimiento de los productos o de la platina del escáner del microscopio. La alineación cuidadosa de una fuente de luz lineal con el plano de imagen de la cámara lineal garantizará los mejores resultados y la eficacia de la iluminación.
Cuando las imágenes instantáneas son más apropiadas para la tarea, se debe considerar el uso de cámaras 2D. Ambas cámaras 2D de PIRT ofrecen una resolución HD (1024 píxeles de ancho) con píxeles de 12 m, lo que proporciona un amplio campo de visión (FOV) y una potencia de resolución detallada. La MVCAM de PIRT es una cámara compacta de megapíxeles estabilizada de temperatura capaz de seguir el ritmo de objetos en movimiento rápido con su velocidad de adquisición de 100 fotogramas completos por segundo y una alta sensibilidad; además, alcanza 385 fps al ajustar la ventana a una imagen de 512x512. La SciCam12 funciona casi con la misma rapidez, pero también puede utilizar el detector con refrigeración profunda para permitir tiempos de integración de dos minutos, lo que es ideal para obtener imágenes de la débil fotoemisión de los transistores de circuitos impresos (CI) en cortocircuito que se encuentran en el análisis de fallos de CI.

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